为您看到更多、更深、更准!

高精度三维表面形貌激光共焦测量

大深度亚表面缺陷暗场共焦检测

亚表面检测深度达到100μm！

DC100共焦显微镜是江苏锐精光电研究院研发的新一代高端立体显微测量仪器，兼顾具有表面形貌测量和亚表面缺陷检测能力的高端三维显微仪器，可以广泛用于金属加工领域的粗糙度、裂纹等表面质量检测，半导体器件、MEMS元件、光伏面板、超精密零件、LED 领域的微结构三维尺寸与亚表面缺陷检测，先进光学加工领域的光学表面轮廓测量与亚表面缺陷检测，材料制造与研发领域的材料表面结构表征等。

融合三种测量方式于一体

多模态测量(可选配)

融合共焦明场、共焦暗场、三维真彩和热波多种成像方式，可获取样品表面及亚表面更为丰富的信息

明场共焦成像

点照明与点探测实现准焦和离焦信号的分离，实现三维成像

采用高灵敏度的共焦峰值定位算法，达到纳米级轴向分辨力

暗场共焦成像

通过环形光整形模块与互补光阑，分离表面反射光和亚表面散射光，获取亚表面缺陷的三维分布信息

三维真彩色成像

沿Z向拍摄样品照片，由清晰程度判断每个像素点的Z位置，获取包含真实色彩的样品形貌数据

简化测量流程

全量程地图导航

单次拍摄到的区域可显示并记录在地图上，方便用户探知样品全貌，在地图中点击鼠标，可使位移台把样品对应的区域移动到画面中央

自动对焦

显微镜的自动聚焦功能使得在测量过程中尽可能减少手动调整的操作，能够快速轻松获得清晰的准焦图像

简易图像处理

倾斜校正：解决被测区域倾斜困扰，使高度信息更准确明了

形貌滤波：滤除非正常测量点，减少噪声对数据的干扰

图像拼接：结合位移台的位置数据，通过图像拼接实现大样品测量

直观图像分析

指定轮廓的三点自动直径测量

测量两个指定点之间的高度差

测量两个指定点之间水平距离

测量两个指定边界之间的角度

计算选定区域的面粗糙度